技术人员在黄色灯光条件下研发配制光刻胶。孙艳平/摄

　　欣奕华的洁净搬运机器人。企业/供图

　　彩色光刻胶占据国产化份额90%，稳居显示光刻胶领域国内头部地位；自主研发国内首家、解决大尺寸超薄易碎玻璃基板搬送难题的洁净搬运机器人，受邀参加国家“十三五”科技创新成就展；在全球范围内，率先完成大尺寸MiniLED芯片巨量转移设备并实现量产交付；飞行汽车样机正在进行试制，预计2022年内可进行试飞测试……在北京经开区，有这样一家“专精特新”企业——北京欣奕华科技有限公司（简称欣奕华），自2013年成立以来，一直致力于打破显示行业上游关键材料和智能装备的国外垄断，实现国产自主可控。从0到1，欣奕华如何攻克“卡脖子”技术？从1到10，欣奕华又将如何拓展布局？

　　从实验室到产线光刻胶实现量产

　　“完全是从零开始做，国内没有任何可以参考借鉴的，我们当时甚至不知道该买什么设备来生产光刻胶。”欣奕华中央研究院常务副院长李琳说。欣奕华的创立，离不开多年的技术储备。早在2007年，依托国家“863计划”，显示行业上游关键材料——彩色光刻胶研发项目启动，李琳自此逐渐成长为国内最早一批光刻胶研发技术骨干。

　　未知，成为自主研发所面临的最大挑战。那时，研发团队只知道光刻胶是通过十几种原料物理混合而成，但比例配方、工艺技术等一概不知。李琳带领团队从文献和专利入手，开始挖掘信息，不断调试基础配方，又通过多方调研购入所需设备，一点一点地进行技术积累，也慢慢把一间空荡荡的屋子配置成设施完善的实验室。

　　随着实验室技术的日渐成熟，产业化落地怎么办？为了更好地实现关键材料国产化，李琳也和团队成员迎来新一轮的挑战——产线验证。“那时业界客户还不了解国产化材料，测试困难，再加上验证周期长、投入大等现实问题，我们每天压力都很大。”李琳说。在研发阶段不仅要尽量完善配方，还要考虑实验环境与真实产线的工艺差异对接，毕竟耗资上百万元的产线验证每次只能测试一个配方。

　　闯过一关又一关，2015年，欣奕华在阜阳建成国内第一条年产达5000吨的平板显示用光刻胶生产线；2017年，欣奕华实现显示领域BM光刻胶的量产。成立的5年时间里，欣奕华逐步积累起120余项发明专利和配方商业秘密，在LCD负性光刻胶、低温光刻胶等泛半导体重要原材料领域，建立起属于企业的知识产权与技术护城河。

　　从国产替代向世界首创智能装备领先发展

　　为解决显示行业上游智能装备国产化问题，欣奕华成立2个月后，又在合肥设立了子公司，并将其研发中心设在北京经开区。“装备研发是一个持续创新、不断淬炼的过程，而产业报国是我们企业成立的初衷，也是这些年坚持下来的动力。”欣奕华智能机器事业群首席运营官兼首席技术官刘正勇说。

　　在国家“十三五”科技创新成就展上，作为国家重点研发计划项目成果，欣奕华自主研发的洁净环境大型玻璃基板搬运机器人受邀参展。这个用于洁净环境中不同工艺间搬运大型玻璃基板的机器人，成为欣奕华在高端设备国产化替代路上迈出的第一步。

　　此后，为解决OLED蒸镀机国产化难题，欣奕华又开启新一轮攻坚克难。作为OLED显示行业的“心房”，蒸镀机是保障高精细度显示产品顺利量产的核心设备，国内面板生产头部企业曾需一次性拿出10亿元向国外厂商采购，且费尽周折。刘正勇说：“只有解决了行业‘卡脖子’难题，才能让我们的产业不受制于人，高速高质量发展。”为此，欣奕华突破蒸发源、高精密对位系统等多项关键核心技术，自主研发的蒸镀机获得安徽省首台套认证，技术国际先进。去年，欣奕华研制的国内首台硅基蒸镀机成功导入客户量产线。

　　“两款设备的成功研发，让我们不止于满足国产替代，更希望能做出世界首创的核心工艺设备。”刘正勇说。大尺寸MiniLED芯片巨量转移设备的自主攻关研发被提上日程。成千上万个头发丝大小的MiniLED芯片，如何高速、精准、高良率稳定地转移至目标基板上？为解决精度问题，研发团队一度面临至暗时刻，面板产品并非肉眼可见的那般平整，在微观层面是高低不平的，转移设备怎么才能满足这一需求？技术人员驻扎进客户的工厂里，每天在宿舍和工厂间两点一线跑动，结合客户的反馈，当场进行技术优化。那段时间，核心技术人员带着冬天衣服去出差，直到夏天才回公司，24小时随时待命更是常事。一次次极限攻关，欣奕华已在全球率先完成大尺寸MiniLED芯片巨量转移设备，并实现量产交付。

　　多领域全栖发展技术实现自主可控

　　从2007年到2017年，欣奕华实现了显示领域光刻胶的从无到有，其自主研发的彩色和黑色光刻胶已在国内多家TOP面板厂进行验证和稳定供货，是国内唯一一家年出货量超千吨企业。近年来，欣奕华还启动芯片领域IC光刻胶的研发和生产，加速技术创新向成果转化，预计今年将有一款产品通过验证。

　　从2013年到2022年，国内首台(套)，国际领先……欣奕华推动显示行业智能装备从国产化替代向国际首创进阶，装备业务已覆盖显示、半导体、LED、光伏等泛半导体领域全球产业链客户，国内显示面板Top5客户覆盖率达100%。

　　在发展过程中，扎根北京经开区这片创新沃土，欣奕华与京东方、奕斯伟、中芯国际等新一代信息技术产业的上下游企业协同发展，2人获“亦麒麟”领军人才，20余位研发人员获优秀人才称号。如今，欣奕华不仅实现了显示行业国产材料和设备的国产替代，还依托泛半导体领域的技术和经验积累，向人工智能和飞行器业务进发。在移动物流方面，欣奕华AMR自主移动机器人多次获得SID中国区显示行业大奖、全国机器人专利创新创业大赛大奖、工信部抗疫表彰等；投身飞行汽车研发工作，目前样机正进行试制。欣奕华拥有世界首款新能源双座电动动力伞、世界先进的高功率高密度电机及控制器等新能源航空产品，具有飞行器设计、制造、实验、试飞、运营以及服务保障的全产业链整合能力。欣奕华还与北京理工大学、北京航空航天大学联合组建“未来立体交通研究院”，通过自身在技术总成、动力推进、控制技术以及陆空平台等方面的核心优势，于2021年推出了陆空一体飞行汽车设计产品。据介绍，欣奕华飞行汽车可乘坐2人至3人，理论飞行半径将达到100公里，飞行速度会突破150公里/每小时，预计2022年内可进行试飞测试。

　　融媒体中心孙艳平