扎根亦庄沃土，芯耀华夏征程

　　东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，是扎根并成长于北京经济技术开发区的集成电路良率管理领域领军企业。公司自2014年创立之初，便精准锚定亦庄构建“高精尖”产业主阵地的战略方向，十余年如一日，心无旁骛地深耕集成电路制造最核心的良率战场，坚持自主创新的HPO全流程工艺优化理念。

东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司总部

　　面对我国芯片产业链中检测与量测设备、计算光刻软件等关键环节的“卡脖子”风险，东方晶源以服务国家战略需求为己任，成功研发出国产首台套电子束缺陷检测设备与关键尺寸量测设备，并打造具有国际竞争力的计算光刻软件。不仅实现国产化“零的突破”，更在亦庄这片创新热土上形成宝贵的产业协同效应，有力驱动亦庄集成电路产业的集聚与发展，是亦庄打造具有全球影响力的集成电路产业生态的生动实践。

关键尺寸量测设备（CD-SEM）

电子束缺陷检测设备（EBI）

电子束缺陷复检设备（DR-SEM）

国家与行业认可