基于8英寸晶圆的超表面波导首次流片。 企业/供图

　　本报讯（融媒体中心 孙艳平）近日，北京经济技术开发区（北京亦庄）企业北京亮亮视野科技有限公司（以下简称“亮亮视野”）在AR眼镜的超表面技术领域取得重要进展，其承担的北京市科学技术委员会（以下简称“市科委”）重点研发项目《基于超表面技术的大视场AR光学模组研发》二期课题通过中期验收，技术成果国际领先。

　　“AR光学模组是AR眼镜的核心元器件，就像显示屏之于手机。超表面技术是能让AR光学模组更好用的一大前沿技术。”亮亮视野创始人兼CEO吴斐介绍。在该项目中期验收会上，清华大学教授曹良才指出，基于超表面的光波导和透镜是当前国际光学器件研发的前沿热点。但目前国际上提出的方案还存在视野小、量产加工难等不足，亮亮视野基于该项目形成的工艺，能直接在玻璃晶圆上制备出光刻波导，技术达到国际领先水平。

　　国际领先并非一日之功。早在2019年，亮亮视野便联合浙江大学开始布局超表面在AR方向应用的研究，并通过产学研深度合作于2022年获得市科委一期研发资金支持。在联合攻关下，他们在2023年率先研制出基于单片三色超表面光栅波导和15mm大口径超透镜的AR光学模组，实现了视场角41.2O、多焦平面、彩色全息显示效果。吴斐表示：“这意味着我们首次在同一近眼显示系统中解决了光学结构体积偏大和视觉辐辏冲突这两个核心问题，且当时国内外尚无单片三色超表面光栅波导信息报道，显示亮亮视野在光学前沿技术领域已达到国际领先水平。”

　　近年来，在市科委二期项目支持下，亮亮视野再次突破AR光学模组研发的关键技术。“基于投影式光刻的微纳图形转移技术，亮亮视野能直接在8英寸玻璃晶圆上制备完成超表面光栅波导，有效解决了大口径超表面器件批量复制的难题。”吴斐解释，通俗来说就是能批量复制AR眼镜镜片了，随着超表面光栅波导制备工艺逐步达到成熟阶段，未来每台光刻机产能有望达到6.5万片/天，单片成本低至50元。

　　“接下来，随着研发进度的加快，亮亮视野还计划建设光刻加工生产基地，逐步形成量产工艺、测试标准，实现超表面技术在消费端AR眼镜的产品化落地，致力于推动其不断创新和应用拓展。”吴斐说。