近日，经过经海路与科创十街交叉口的北京经开区市民看到，西北侧地块幢幢崭新厂房迎风矗立。走进内部，厂房里的产线搭建完成并启动运行，研发实验室设备齐全，研发人员忙碌开来。这是华卓精科半导体装备关键零部件研发制造项目，经过不到3年时间建设完成，让华卓精科多年布局研发的光刻机工作台、精密运动台等集成电路领域高端装备实现规模化生产。“我们新项目之所以能快速建成投产，多亏北京经开区提供的管家式服务。”华卓精科公司总经理孙国华感慨地说。

　　从签约到竣工

　　提供主动式全发展周期服务

　　长期以来集成电路及其制造装备是中国大宗进口商品中占比较高的一项。在集成电路制造装备中，光刻机被誉为新时代“两弹一星”般的“神器”和世界上最精密的仪器。而光刻机双工件台是光刻机的核心子系统，可以想象为两架时速1000公里的飞机在任意时刻的飞行位置偏差不超过一个微米。如此尖端的性能指标，其制造也成为世界级难题。华卓精科于2012年创立，专注于集成电路装备技术研发及产业化，在前道光刻机的重要部件——双工件台的研发和产业化方面处于领先地位，是除世界光刻机龙头荷兰ASML公司外全球第二家可以生产光刻机双工件台的企业，同时在激光退火、硅片堆叠、扫描干涉光刻、平面光栅、高精密运动台、静电卡盘、隔振器等集成电路装备和关键零部件领域也处于国内领先水平。

　　华卓精科2018年5月在北京经开区启动建设华卓精科半导体装备关键零部件研发制造项目，就是为了推进多年研发的系列集成电路高端制造设备产业化。北京经开区作为北京市建设国际科技创新中心的主平台，将该项目列为七促重大项目，提供项目建设全流程的管家式服务。“在项目的立项、施工、竣工、投产等各个环节，北京经开区相关部门提供了指导，推进项目建设顺利实施。”孙国华介绍说，在工程建设中，所有审批事项均得到高效、迅速办理；建设过程中遇到了新冠疫情，相关部门先后组织了1次全员核酸检测和7次集中疫苗注射，为企业疫情防控提供了有力保障。

　　在北京经开区的服务促进下，总建筑面积45500多平方米的华卓精科半导体装备关键零部件研发制造项目快速建成并投入使用。包括光刻机工作台、精密运动台等系列集成电路领域高端装备实现了批量化生产，崭新宽敞的厂房、标准化的百级、千级净化间、流程化装配产线，为加速推进国家专项的攻坚克难提供了坚实的保障。告别了过去“巧妇难为无米之炊”的窘境，加速推进了研发工作的进展。

　　北京经开区施行的“七促”工作机制，为企业提供主动式、全发展周期的服务，从企业项目签约入区开始，营商合作局各处室干部担任项目“服务管家”，从签约、摘牌到开工、竣工、投产、达产，全流程服务促进。今年以来受益的不仅有华卓精科一家，据营商合作局统计，今年一季度通过“七促”工作机制，促进34个项目走向新进展。其中，新签约落地项目24个，包括信创园系列项目，项目总投资672亿元；已摘牌项目3个；已开工项目4个；已竣工项目1个；已投产项目2个。

　　“个性化定制”审批流程

　　90天缩至9天

　　中芯京城12英寸集成电路晶圆及集成电路封装项目与华卓精科半导体装备关键零部件研发制造项目同为北京经开区“七促”重大项目。北京经开区深化企业投资项目告知承诺制，对项目“个性化定制”审批流程，探索开展在线远程核查和评审评估，加快推动工程建设项目全流程在线审批，构建“区域评估+标准地+告知承诺+政府配套服务”全流程闭环管理。中芯京城12英寸集成电路晶圆及集成电路封装项目的一期工程项目，享受到了从立项到竣工全过程政府综合服务，解决企业对技术规范陌生、对基本建设程序不熟悉的问题，原本至少90天才能办好的手续，该项目用了9天就实现了拿地、开工。

　　北京经开区推进“两区”建设，持续发力新一代信息技术、高端汽车和新能源智能汽车、生物技术和大健康产业以及机器人和智能制造四大主导产业，不断完善高端服务业及科文融合产业，更加注重数字经济产业发展，着力构建“4＋2＋1”产业体系。在“七促”工作机制下，促进重点项目加速进展，“4＋2＋1”产业体系加快构建，力争在北京高质量发展中，成为重要的科技成果转化承载区。