本报讯（融媒体中心李玉凤）芯片制造能力是实现国家集成电路乃至信息产业自主可控的关键，而设备就是基础。近日，北京经开区企业北方华创科技集团股份有限公司（以下简称北方华创）正式发布应用于晶边刻蚀（BevelEtch）工艺的12英寸等离子体刻蚀机AccuraBE，实现国产晶边干法刻蚀设备“零”的突破，为我国先进芯片制造量身打造良率提升高效解决方案。

　　刻蚀机与光刻机是一对好朋友，二者都决定着芯片成品的性能，如果说光刻机就像工匠在木板上划线，而刻蚀机则按照木板上划线进行雕花。北方华创自2001年创立起就开始组建团队钻研刻蚀技术，从2005年第一台8英寸ICP刻蚀机在客户端上线，到带领国产刻蚀机从零到交付破千，北方华创历经了二十余载自主创新，不断为集成电路装备国产化进程贡献“亦庄智慧”。

　　本次发布的晶边刻蚀机是为了解决晶圆边缘副产物及残留物堆积越来越多的问题，从晶圆的边缘位置着手提高芯片良率。

　　“AccuraBE作为首台国产12英寸晶边刻蚀设备，其技术性能已达业界主流水平。”北方华创相关负责人表示，AccuraBE通过软件系统调度优化与特有传输平台的结合，可助力客户实现较高的产能；同时，可定制多种尺寸的聚焦环设计组合，实现对等离子体刻蚀区域的精准位置控制，从而为客户提供灵活、全面的良率提升方案。据了解，AccuraBE刚发布上市，就已斩获逻辑及存储器领域头部客户多个订单，通过工艺调试，进入量产阶段。

　　实际上，AccuraBE面世只是亦庄智造在IC设备国产化上的一个小缩影，北京经开区作为全国集成电路产业聚集度最高、技术水平最先进的区域之一，现已形成以中芯国际、北方华创为龙头，包括设计、晶圆制造、封装测试、装备、零部件及材料等完备的集成电路产业链，占据北京集成电路产业规模超一半，为了打造全国集成电路产业高地，构建了“小线研发+大线量产”的集成电路产业创新模式，实现了关键装备工艺的国产替代、关键产品的超前研发，北方华创、屹唐半导体两家装备企业进入全球装备企业30强。

　　“北京经开区一直致力于为企业提供良好的创新创业环境和政策支持，目前已经形成全周期政策扶持体系，围绕人才、技术、市场开拓、空间保障等多方面，为企业量身定制政策礼包，助力企业创新发展。”北京经济技术开发区有关负责人介绍，为推动集成电路产业高质量发展，北京经开区组建了集成电路产业专班集中力量对集成电路产业结构进行研究，打造一支“专家式”的企业服务团队，让产业链上下游企业“引进来”“扎下根”。

　　良好的创新环境带来的是创新力的蓬勃潮涌，数据显示，仅2023年上半年，北京经开区已经实现曝光光源等10项关键技术突破。