■人物名片京仪自动化企业产品部技术总监

　　何茂栋

　　在北京经开区，有一家高新技术企业成功实现了国外进口高端温控设备国产化替代。这家企业，便是北京京仪自动化装备技术股份有限公司（简称京仪自动化）。促成这一切成果的“幕后英雄”，便是该企业产品部技术总监何茂栋。20年来，他深耕集成电路领域高端装备的设计开发及国产化应用。他开发的温控设备频频“亮剑”，打破国外厂家的技术垄断，解决了集成电路制造领域专用温控设备长期被国外垄断及“卡脖子”的问题，填补了国内空白。

　　“半路出家”立志突破技术封锁

　　面临外部技术封锁，多年以来，以京仪自动化为代表的集成电路高端装备制造企业正加快速度致力于“中国芯”的崛起。

　　真正的突破，始于何茂栋的“大胆跨界”。2002年大学毕业后，何茂栋就加入了京仪集团，从事晶体生长设备的研究。

　　2002年至2013年，何茂栋从事半导体晶体生长设备的设计开发期间，先后参与国家863项目“VB法大直径砷化镓单晶炉和退火炉研制”等多个重点项目的研究开发。开发出全自动单晶硅炉控制系统，实现晶体生长的一键式全自动控制，全自动系列单晶炉累计销售量达到1500台，为企业创造了12亿元的销售收入，实现了晶体生长设备的国产化。

　　可以说晶体生长设备才是何茂栋的本职研究领域。然而，在2014年前后，何茂栋开始全面了解公司不同产品领域，他发现由于行业本身高技术壁垒的属性，我国温控设备乃至整个集成电路高端装备还处在受制于人的情况，现行设备全部依赖于国外进口，国内的温控设备还停留在研发阶段，远远达不到产品化。

　　因此，何茂栋决定“半路出家”，加入集成电路专用温控设备项目组。面对相对陌生的研究领域，何茂栋和团队如同庖丁解牛一样，把温控设备的技术路径一一分解，找出难以量产的关键环节。由于国外技术封锁，很多核心技术没有现成资料，他们只能摸着石头过河。他扎入实验第一线，吃住在办公室。

　　“不吃不喝”铆足劲儿攻克难关

　　攻坚克难期间，何茂栋主攻控制算法，通过先进的智能控制算法对温度进行精密控制。那段日子里，何茂栋说是吃住在单位，实际上就是饿了吃几块饼干，由于进出客户工厂的洁净车间需要更换洁净服，他怕“麻烦”就干脆不喝水。

　　在开发温控设备的过程中，需要在客户工厂的洁净车间内进行调试，为了满足客户的原有控制曲线需求，经常是连续在洁净车间内进行联调，一干就是大半天。正是他扎根洁净车间，陆续开发出了多款温控设备的控制软件，加快了设备的研发进程，为项目顺利结题提供了保障。

　　何茂栋说，集成电路温控设备就像是一台空调，是“成功的关键”。例如，刻蚀工艺流程是集成电路制造的关键生产流程，生产时对温度有精准的要求。温控设备作为与刻蚀机配合进行作业的关键设备，可以实现对刻蚀机工艺腔精准控温，从而提高成品率和产品性能。“就像家里的空调，高了就降降温，低了就升温。”听上去简单的一句话，背后却凝结了何茂栋多年的心血。

　　经过不懈努力，何茂栋开发出了多通道、高精度、宽温度、大负载的集成电路专用温控设备共计20多种型号。所开发的温控设备，采用先进的预测控制、模糊PID控制、自适应控制算法对温度进行精密控制，温控精度优于国际同类产品，温控设备的成功开发打破国外厂家的技术垄断，填补了国内空白，经过科技成果评价，技术达到国际先进水平，解决了集成电路制造领域专用温控设备长期被国外垄断及“卡脖子”的问题。

　　“内外兼修”研发成果国内畅销

　　研发工作期间，为早日实现集成电路领域高端装备的国产化，何茂栋工作之余，先后到北京航空航天大学、天津大学进行硕士、博士深造，提升理论水平，极大地提升工作业务能力，成为集成电路制造领域高端装备科技创新领军人才。

　　其间，他还发表论文7篇，获授权发明专利34项，实用新型33项，软件著作权20项；10个型号的集成电路专用温控设备获北京市新技术新产品认定；“何茂栋创新工作室”分别获北京经开区总工会、北京市总工会授牌；他获得全国五一劳动奖章、“亦麒麟”科技创新领军人才、北京市劳动模范、杰出自动化工程师、北京优秀青年工程师、北京市百姓宣讲优秀宣讲员等荣誉称号，获得北京市职工文化协会三等奖、北京市企业管理现代化创新成果奖二等奖、北京市科学技术奖三等奖2次、中国机械工业科学技术奖三等奖2次。

　　如今，由何茂栋带头研发的集成电路专用温控设备满足国内外主流的半导体刻蚀工艺设备的要求，并销往国内主流的集成电路制造厂，产品在集成电路制造领域得到批量应用，国内市场占有率超过50%，累计销售超过5000台，成功实现了国外进口高端温控设备的国产化替代，促进了“中国芯”的健康良性发展，为国民经济稳步向好向优提供了有力的保障。本报综合报道